ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН
Методы
Электронная, зондовая и оптическая микроскопия
Исследовательский комплекс NtegraPrima для атомно-силовой микроскопии
Нанолаборатория, созданная для решения широкого спектра задач в области атомно-силовой микроскопии (АСМ), предназначенная для получения изображений поверхности с высоким пространственным разрешением, измерения линейных размеров элементов топологии микро- и нанорельефа поверхности твердых тел с разным типом проводимости, наноструктур и биологических объектов, а также для диагностики локальных физических свойств.
Загрузка прибора (%): 50
Загрузка прибора по дням (не менять): 2020/11/26,2020/12/01,2020/12/03,2020/12/04,2020/12/08,2020/12/16,2020/12/17,2020/12/18,2020/12/21,2020/12/22,2020/12/25,2020/12/30,2021/01/04,2021/01/07,2021/01/08,2021/01/13,2021/01/14,2021/01/15,2021/01/18,2021/01/20,2021/01/21,2021/01/25,2021/01/27,2021/01/29,2021/02/02,2021/02/03,2021/02/04,2021/02/05,2021/02/09,2021/02/10,2021/02/11,2021/02/12,2021/02/16,2021/02/17,2021/02/18,2021/02/24,2021/02/25
Пример исследования:
АСМ-запись регулярных доменных структур на тонких монокристаллических пленках ниобата лития и их визуализация в режиме микроскопии пьезоотклика
Технические характеристики:
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY | 0,001-80 мкм |
Диапазон измерения линейных размеров в Z направлении | 10 мкм |
Нелинейность в плоскости XY | 0,66 % |
Неортогональность в Z направлении | 0,37 градуса |
Разрешение в плоскости XY | 0,014 нм |
Реально-контролируемая разрешающая способность в плоскости XY | 2 нм |
Разрешение по оси Z | 0,118 нм |